服务热线:027-84859126

一种基于氧化锆隧穿层的氧化铌选通器件

  • 项目编号:ZR20181307
  • 发布日期:2019-12-10
  • 项目类别:
  • 项目所在地:
项目简介

本实用新型涉及一种基于氧化锆隧穿层的氧化铌选通器件。本实用新型的选通器件从下至上依次包括底电极层、氧化锆隧穿层、氧化铌转换层和顶电极层;所述底电极层的厚度为50~300nm,所述隧穿层的厚度为1~5nm,所述转换层的厚度为30~100nm,所述顶电极层的厚度为50~300nm。本实用新型在氧化铌转换层和底电极层之间增加了一层超薄的氧化锆隧穿层,氧化锆隧穿层有效减小了器件的*作电流和*作电压,可显著降低器件的使用功耗,增加高阻态电阻值,提升非线性度,因此,本实用新型制得的选通器件非线性值高,非常具有发展潜力和应用价值。

联系方式
027-84859126